紫外光

经过国家重大科技基础设施研发团队历时五年的顽强拼搏，长期制约我国极紫外光刻机核心光源技术瓶颈终于被成功破解。

jīng guò guó jiā zhòng dà kē jì jī chǔ shè shī yán fā tuán duì lì shí wǔ nián de wán qiáng pīn bó, cháng qī zhì yuē wǒ guó jí zǐ wài guāng kè jī hé xīn guāng yuán jì shù píng jǐng zhōng yú bèi chéng gōng pò jiě.

国家の主要な科学技術インフラ研究開発チームによる5年間の粘り強い努力を経て、我が国の極端紫外リソグラフィー装置を長らく制限してきた核心光源技術のボトルネックをついに解消することに成功した。